通常使用的真空泵是旋转油泵，划格法附着力间距标准高频电源通常用13.56M赫兹的无线电波，设备的运行过程如下：（1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要2min。（2）向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压
