用真空等离子清洁器电离 Ar 后，硅片腐蚀前做亲水性处理产生的等离子变成深红色。在相同充放电条件下，氢气和氦气形成的等离子体颜色基本为红色，但氩等离子体的饱和度低于氮气，高于氢气。 ① Ar等离子清洗机的表面清洗在清洗单晶硅片和夹层玻璃的表面时，通常采用Ar等离子体使表面的细颗粒过渡，以实现细颗粒的
