主要电气控制部分包括：真空泵、射频电源、真空表、定时器、浮子流量计、绿色电源指示器、蜂鸣器、电源调节器、放空按钮（自锁）、气体一键（自锁）、气体两键（自锁）、高频电源按钮（自锁）、真空泵按钮（自锁）、主电源旋钮开关。。等离子体处理器的原理是什么：等离子体是物质存在的一种状态。C4F气体在 等离子清洗
