等离子体刻蚀机技术的典型应用有：半导体/集成电路；氮化镓；氮化铝/氮化镓；砷化镓/砷化铝镓；砷化镓；磷化铟，亲水性强弱比较镓/铟镓（InPingGaAs/InAlAs）；硅；硅锗；硅化硅陶瓷(Si3N4)；硅的溴化氢；硒化锌；铝；铬；铂金；钼；铌；铟；钨；氧化铟锡；钛酸铟铅；塑料/高分子材料；聚四氟
