在目前的集成电路生产中，钛白粉对油漆附着力的影响仍有50%以上的材料由于晶圆表面的污染而损耗。而其工艺质量将直接影响到设备的成品率、性能和可靠性，因此国内外各大公司和研究机构都在不断地研究清洗工艺。等离子体清洗具有工艺简单、操作方便、不处理废物、不污染环境等优点。但不能去除碳和其他非挥发性金属或金属
