1）光刻胶膜； 2）电子元件、传感薄膜； 3）生物医学专用膜； 4）光学材料用反射膜； 5）疏水/亲水膜、离型膜、绝缘膜、防锈膜等关于等离子表面处理的效果，亲水性差的金属氟化处理是目前所有表面处理方法中效果最好的，它可以赋予材料永久的结合力.然而，这种方法会产生大量有害气体，而且废气处理成本对于大多
