（活）化原子态氧能迅速将聚酰亚胺膜氧化成挥发性气体，辽宁射频等离子清洗机价位由机械泵抽走，从而去除硅块上的聚酰亚胺膜。电浆去胶的优点是去胶操作简单，去胶效率高，表层清洁，无划痕，成本低，环保。 等离子去胶机通常选用电容耦合等离子体平行面板反应釜。在平行面电极反应釜中，反应离子腐蚀腔选用阴极面积小、阳
