干式等离子体清洗与湿式等离子体清洗的区别及优点:干式等离子体清洗是利用工作气体在电磁场的作用下激发等离子体与物体表面产生物理化学反应，亲水性和疏水性的官能团从而达到清洗的目的。而湿式清洗是利用化学溶剂或水在一定时间内的作用对物体进行清洗，以达到清洗的目的。等离子体清洗是利用不同的气体对物体进行处理和
