辉光放电也是低温等离子清洗技术的一种方法。辉光放电也是低温等离子清洗技术的一种方法。冷等离子体通常定义为部分电离的气体，低温等离子清洗由受激原子和分子、正负离子、自由基、电子、光子等组成，整体呈电中性。等离子体通常分为平衡等离子体和非平衡等离子体。平衡等离子体，也称为热等离子体，其特点是所有内部粒子
