等离子清洗技术的能量约为几十个电子伏特,亲水性和分散性关系其中包含的离子、电子、自由基等活性粒子和紫外线等放射线容易与固体表面的污染物分子反应脱离,起到清洗的作用。同时,低温等离子体的能量远低。 因为是高能射线,所以这种技术只关系到材料的表面,不影响材料的基体性能。等离子体清洗是一种干式技术,采用电