如果栅氧化区面积小，线路板plasma清洗设备栅区面积大，大面积栅收集的离子会流向小面积栅氧化区。为了保持电荷平衡，基板也必须跟随增加。增加的倍数是栅极与栅极氧化面积的比值，放大了损伤效应。这种现象被称为“天线效应”。对于栅极注入，隧穿电流和离子电流之和等于等离子体中的总电子电流。即使没有天线的放大
