等离子体清洗机采用反应性气体,硅胶附着力增强剂如Ar,He,Hz等。这些气体原子不直接进入聚合物表层的大分子链。而这些非反应性气体等离子体技术中的高效能粒子轰击材料表层,传递能量,产生大量自由基。自由基作用于材料表层形成双键和交联结构,非活性气体等离子体技术在材料表层形成薄薄的交联层。然而,硅胶附着