现在已广泛使用的物理化学清洗方法，云南等离子表面处理机安装方法大致可分为两类：湿法清洗和干法清洗。 湿法清洗在现阶段的微电子清洗工艺中还占有主导地位。但是从对环境的影响、原资料的耗费及未来开展上看，干法清洗要显着优于湿法清洗。 干法清洗中开展较快、优势显着的是等离子体清洗，等离子体清洗已逐渐在半导体
