例如，二氧化硅等离子清洗有机污染物可以通过氧等离子体有效去除，氧气与污染物反应产生二氧化碳、一氧化碳和水。等离子体化学清洗具有较高的清洗速度和腐蚀性。一般来说，化学反应可以更好地去除有机污染物，但最大的缺点是氧化物可以在基质上形成，并用于许多应用。压力:工艺容器压力是气体流量、产品流量和泵速的函数。
