等离子体产生的氧自由基具有很强的活性，二氧化硅等离子体去胶设备容易与碳氢化合物发生反应，产生二氧化碳、一氧化碳和水等挥发性物质，从而清除表面污染物。等离子发生器是使用的高能等离子体,吸附到固体表面,聚合物表面的有机分子链断裂,形成小分子、小分子链进一步打破,形成水和二氧化碳,最后让分子气化,残余分子
