任何超出标准的颗粒都会在晶圆片上造成无法修复的缺陷。因此，支架plasma表面清洗机器等离子清洗机的腔体必须是铝制的，不能是不锈钢的;晶圆座的滑动部分应选用不易产生尘埃和不易被等离子腐蚀的材料。电极和支架易于拆卸和维护。1-2:等离子体清洗机反应室中电极间距、层数、气路分布对晶圆加工均匀性影响很大，
