检查电路是否断路、短路。5真空等离子吸尘器气压过低。检查空气是否打开或排风如果出现这样的报警，为什么有亲水性等离子清洗机厂家-建议检查真空等离子清洗机室底部用于真空断路的空气回路电磁阀是否工作正常，电路是否断路或短路。。真空等离子清洗机是否能去除芯片表面的污染物?-为什么等离子清洗机需要在等离子清洗
