表7.4电磁法早期破坏模式与两种关键长宽比的关系晶圆片通孔深宽比斜面深宽比早期失效模式价值等级价值等级通孔斜面W15.6高2.11高有有W24.84中等2.16高有有W34.57低1.96中等无有W44.57低1.75低缺勤无在保持通孔底部尺寸不变的情况下，w3004电晕处理机通过调整刻蚀工艺，增大
