活气和非活气等离子体根据等离子体产生所用气体的化学性质不同，不同金属附着力图片表现可分为非活性气体等离子体和活性气体等离子体两种。惰性气体如氩(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)、活性气体、氧气(O2)、氢气(H2)等，不同类型气体在清洗过程中的反应机理不同，活性气体等离子体
