广东芳如达科技有限公司 2022-12-22 14:22:16 107 阅读
等离子低温等离子清洗机温热等离子清洗机,漆膜附着力试验仪因为聚丙烯、聚四氟乙烯等橡胶材料,因为聚丙烯、聚四氟乙烯等橡胶材料没有极性,不经过表面处理就很差,很难粘合涂覆。有些工艺使用化学物质处理这些橡塑表面,会改变橡塑材料的粘接效果。然而,这种方法并不容易掌握。化学品本身有毒,操作麻烦,成本高。此外,化学物质也影响橡塑材料的优良性能。采用低温等离子体清洗技术对材料表面进行处理。
3.低温:接近常温,漆膜附着力试验仪校准方法特别适合聚合物材料,保存时间长于电晕和火焰方法,表面张力高;4.强大的功能:只涉及聚合物材料的浅表层(10- 0A),能够在保持材料本身特性的同时赋予其一个或多个新功能;5.低成本:设备简单,易于操作和维护,可连续运行。通常几瓶气体能够代替几千公斤的清洗液,所以除污成本会大大低于湿法除污。
光晕等离子处理器电离出来的整体中性等离子体活性很高,漆膜附着力试验仪可以与材料表面的原子不断发生反应,使表面材料不断被激发成气体并挥发出来,从而达到清洗的目的。它在半导体生产过程中具有良好的实用性,是清洁、环保、高效的清洗方法。。
从表3-3可以看出,漆膜附着力试验仪校准方法在纯等离子体条件下,C2H6和CO2的转化率分别为33.8%和22.7%,C2H4和C2H2的总收率为12.7%。将负载型稀土氧化物催化剂(La2O3 / Y-Al2O3 和 CeO2 / Y-Al2O3)引入反应体系,提高了 C2H6 的转化率、C2H4 的选择性和收率,以及 C2H2 的选择性和收率。率略低。
漆膜附着力试验仪校准方法
在高频升压电路的设计中,系统采用了基于LC谐振理论的高频谐振固态特斯拉升压电路。该电路由低压输入端、主电容组、谐振通断器件、初级线圈和放电端组成,可在放电端形成高压电场,实现高频高压条件下等离子体的产生。在高频高压等离子体发生器系统中,移相全桥控制电路提供控制信号,在功率晶体管驱动下,通过高频谐振升压电路对输入信号进行升压,实现等离子体的稳定产生,从而降低驱动管消耗,提高输入电源效率。。
的各种气体等离子清洗机的清洗效果是不同的,因为材料的等离子体清洗是不一样的,要求是不同的,治疗各种过程,会选择相应的气体,根据清洁的程度,调整输入气体的比例,清洗停留时间等参数。目前等离子清洗机常用的气体有空气、氧气、氩气、氢气、氩氢混合气、CF4等。每种气体的特性不一样,清洗效果也不一样。有的还会选择混合气体,即多种气体混合在一起达到最佳的清洗效果。
接下来,将处理气体引入真空室(选择相应的一种)(根据不同的清洗材料和工艺进行反应)气体),并保持压力接近pa;接下来,在真空室中的电极与接地装置之间添加高频电压,以使气体穿透并产生等离子体。被辉光放电电离。最后,等待等离子。等离子完全充满真空腔后,开始清洗操作,整个清洗过程持续几十秒到几分钟(根据工艺要求设置)。完成后,真空泵会从等离子室中清除污染物,清洁室中的材料,并准备好进行胶合或下一步。
在 45nm 之前,自动清洁台能够满足清洁要求,并且今天仍然存在。 45nm以下工艺节点采用单片清洗设备,满足清洗精度要求。随着未来工艺节点的减少,单晶圆等离子发生器是当今可预测技术中的主流清洗设备。在这个半导体产业链中,等离子发生器是这个半导体产业链的重要组成部分。等离子发生器用于清理原材料和半成品中可能存在的杂质,防止杂质影响成品的性能。下游产品。晶圆加工、光刻、蚀刻、沉积和封装等关键工艺所需。。
漆膜附着力试验仪校准方法
本文分类:衢州
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发布日期:2022-12-22 14:22:16