广东芳如达科技有限公司 2023-02-20 09:30:46 162 阅读
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在等离子体伪栅去除工艺 中,为啥环氧防锈漆的附着力好要完全清除角落里的多晶硅,需要施加较长时间的基于NF3/H2气体的过蚀刻,但由于等离子体直接接触High-k栅介质层上的功函数金属,等离子体中的氢离子对栅介质层的损伤大大增加,Ji等人推测同步脉冲等离子体能够在保证角落没有多晶硅残留的情况下,通过降低电子温度来缓解对栅电介质层的损伤。
当一瓶气体供给多台清洗机时,为啥环氧防锈漆的附着力好无法满足输出工作压力,更容易出现机械设备工作压力报警。 ..气动调节阀是气动控制的重要组成部分,其作用是将外部气体控制在所需的压力下,以保证稳定的工作压力和流量。无论是真空等离子清洗装置还是常压装置,都必须安装气体压力调节阀,以保证应用中气体的清洁度。调压阀上应安装带气压表或气压表的调压阀,便于观察气压。如果要产生低压保护报警,可以选择带报警功能的气压计,也可以加压力控制器。
用氧气(O2)在真空室中清洗可以有效地去除有机污染物,为啥环氧防锈漆的附着力好如光刻胶。氧气(O2)广泛应用于高精度芯片键合、光源清洗等工艺。还有一些难以去除的氧化物,可以用氢气(H2)清洗,前提是在密闭性非常好的真空中使用。还有一些特殊气体类似于四氟化碳(CF4)、六氟化硫(SF6)等,蚀刻去除有机物的效果会更加显著。但使用这些气体的前提是要有耐腐蚀的气路和腔体结构,此外还要戴好防护罩和手套才能工作。
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等离子体技术是等离子体物理、等离子体化学和气固界面化学反应相结合的新兴领域。这是一个典型的高科技产业,需要跨越多个领域,包括化工、材料、电机等,因此将极具挑战性,也充满机遇,因为半导体和光电子材料未来将有快速等离子体清洗机近20年的研发和推广应用取得了成功的经验。目前等离子体与材料表面的反应主要有两种,一种是自由基作用下的化学反应,另一种是等离子体作用下的物理反应,下面会有更详细的说明。
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发布日期:2023-02-20 09:30:46