施加合适的功率后，陕西等离子除胶清洗机原理被引入的气体在电极之间击穿电离后形成冷等离子体束流并均匀向下喷出。选用氩气以及无腐蚀无毒性的SF6气体，喷口的直径为10mm，喷出束流的长度范围是5~ 20mm，该束流长度取决于放电功率的大小和进气量的大小。用常压射频冷等离子体设备对单晶硅进行刻蚀的工艺表明
