在真空状态下，氩气等离子表面改性压力越来越小，分子之间的间距越来越大，分子间的力越来越小。射频源产生的高压交变电场，用来振荡氧气、氩气、氢气等工艺气体，使之成为高活性或高能量的离子。然后与有机污染物和微粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，再通过工作气体流量和真空泵将这些挥发性物质去除，从而达到表面清洁
