广东芳如达科技有限公司 2022-12-01 13:02:51 117 阅读
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只有在加入侧墙保护层生成气体氧气之后, 真正的各向异性蚀刻才可以达成。另外,有报道说在很多低温等离子体蚀刻过程中,等离子表面处理机离子轰击才是决定性因素,这主要是因为降低反应温度可以有效减慢表面化学反应。 等离子表面处理机低温反应中应用SF6/O2连续等离子体蚀刻硅基材的过程被称作标准超低温过程,从而来实现蚀刻和保护并行进行。保护层的大分子薄膜中主要含有SiOxFy无机化合物。
等离子表面处理设备主要有三种操作模式:等离子表面处理改性(PST法)、等离子接枝聚合(PGP法)和等离子沉积聚合(PPD法)。 PST法是指对材料表面或极薄的表面层进行活化和蚀刻,通常称为还原处理。等离子表面处理机中电子等活性因子的能量(最高可达20eV)远高于有机化合物的化学键能(<10eV),因此具有化学活性。处理有机物时,被处理物表面的纤维易碎,提高了纤维和布匹的吸湿性、拒水性、抗污性和染色性。
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本文分类:枣庄
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发布日期:2022-12-01 13:02:51