广东芳如达科技有限公司 2022-12-12 18:35:36 126 阅读
等离子清洗机工作原理:等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,环氧树脂附着力标准表图片通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面,从而实现清洁,改性,光刻胶灰化等目的。1、气流量的大小对清洗的影响较大,等离子清洗机在清洗中,要保持一定的真空度(0.1-0.2torr)才能产生辉光进行清洗,在0.1-0.2torr真空度下对于清洗的效果都是相同的。
它在真空中完成,环氧树脂附着力标准表图片不污染环境,并确保清洁后的表面不被二次污染。。气体排放分为直流排放和交流排放。直流放电通常是指低频放电。当压力和电流范围不同时,由于气体中电子数、碰撞频率和粒子扩散的不同,会出现暗电流区、辉光放电区和电弧放电区。和传热速度。电流的大小由功率负载特性曲线和放电特性曲线上与电阻R1和R2对应的两条下降线(工作点A、B、C)的交点决定。
1) 氩气:物理冲击是氩气清洁的机理。由于其原子大小,环氧树脂附着力标准表图片氩气是最有用的物理等离子清洁气体。可以对样品表面施加很大的力。正氩离子被吸引到负极板。冲击力足以清除外部的污垢。这些气态污染物由真空泵排出。 2) 氧气:化学过程中的离子身体与样品表面的化合物发生反应。例如,有机污染物可以通过与污染物反应产生二氧化碳、一氧化碳和水的氧等离子体来有效去除。一般来说,化学反应对消除有机污染物效果更好。
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其主要过程包括:先将需要清洗的工件送到真空系统固定,真空泵等设备逐步抽真空排出约10Pa真空度;然后将等离子清洗气体送入真空系统(根据清洗材料的不同,可以选择不同的气体,如氧、氢、氩、氮、等周围的压力并保持Pa;在电极之间的真空系统和接地装置增加高频工作电压,气体被分解,根据电弧放电电离产生等离子体,等离子体后产生的真空系统完全涵盖了清洗工件,天渐渐晴了洗。清洗过程可以持续几秒钟到几分钟。。
原子团等自由基与物体表面的反应: 由于这些自由基呈电重型,存在寿命较长,而且在离子体中的数量多于离子,因此自由基在等离子体中发挥着重要作用,自由基的作用主要表现在化学反应过程中能量传递的"活化"作用,处于激发状态的自由基具有较高的能量,因此易于与物体表面分子结合时会形成新的自由基,新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态,很可能发生分解反应,在变成较小分子同时生成新的自由基,这种反应过程还可能继续进行下去,最后分解成水、二氧化碳之类的简单分子。
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等离子体清洗技术在微电子研究、加工等行业中应用非常广泛如对焊接引线的清洗、对电子元器件表面的油垢及其它污垢粒子的清除以及去除半导体硅片表面的光致抗蚀膜,已经成为微电子制造业中不可缺少的一道工艺。虽然它应用到生产实践中的时间还不长,但己证明确实具有实用性、可靠性、经济性及无公害性的优点。
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