广东芳如达科技有限公司 2022-12-24 17:08:58 130 阅读
等离子清洗、刻蚀产生 plasma清洗装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场,真空镀膜面漆附着力树脂用真空泵实现一定的真空度,随着气体越来越稀薄,分子问距及分子或离子的白由运动距离也越来越长,受磁场作用,发生碰撞而形成等离子体,同时会发生辉光。等离子体在电磁场内空间运动,并轰击被处理物体表面,从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。
整个清洗过程可在几分钟内完成,真空镀膜附着力差原因因此具有收率高的特点;等离子体清洗需要控制真空度在Pa左右,这种清洗条件很容易达到。
其中,真空镀膜附着力差原因物理反响机制是活性粒子轰击待清洗外表,使污染物脱离外表zui终被真空泵吸走;化学反响机制是各种活性的粒子和污染物反响生成易挥发性的物质,再由真空泵吸走挥发性的物质,然后到达清洗目的。我们的作业气体,经常用到氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(Ar)、甲烷(CF4)等。
控制部分的主要电器部件有:真空泵、RF电源、真空计、计时器、浮子流量计、绿色电源指示灯、带灯的蜂鸣器、功率调节器、放空按钮(带自锁)、气体一按钮(带自锁)、气体二按钮(带自锁)、高频电源按钮(带自锁)、真空泵按钮(带自锁)、总电源旋钮开关。钮(带自锁)、真空泵按钮(带自锁)、总电源旋钮开关。
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5.到达处理时间后,复原平衡阀钮,3秒左右恢复常压,无进气声响时,腔门自动打开。6.打开腔门,取出被处理物,一个处理过程结束。温馨提示:在手动状态下,可设定氧气阀、氩气阀、真空泵、射频电源、平衡阀的开关选择,进行数据工作。
真空等离子清洗设备罗茨真空泵的分类:泵由两个转子放置在泵体内的位置分为三大类:立式罗茨真空泵:罗茨真空泵两个转子的轴线呈水平布置,但两个转子的轴线组成的平面垂直于水平面;卧式罗茨真空泵:罗茨真空泵两个转子的轴线呈水平布置,两个转子的轴线组成平面,水平布置;竖轴式罗茨真空泵:罗茨真空泵的两个转子轴与水平面垂直安装。
线型等离子体表面处理机对表面进行处理,其作用作用可达到数微米,但在一般情况下远低于0.01微米,而等离子体不会改变材料的总体性质。
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等离子体清洗机等离子体状态下的电子和原子脱离原子约束,真空镀膜面漆附着力树脂中性原子、分子结构和离子无序运动,能量很高,但整体是中性的。高真空泵房内混合气体的分子结构被电磁能强化,加速后的电子相互碰撞,使原子和分子结构的外层电子偏离轨道,产生离子或高活性氧自由基。
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发布日期:2022-12-24 17:08:58