一些非高分子无机气体(Ar2、N2、H2、O2等）在高频低压下被激发产生许多活性粒子，高附着力PUA材料包括离子、激发分子、自由基等。一般在等离子体清洗中，活化气体可分为两类，一类是惰性气体等离子体（如Ar2、N2等）；另一类是反应气体（如O2、H2等）的等离子体。这些活性粒子能与表面材料发生反应。
