又有说，高能束表面改性发展现状原子团(又成氧自由基)和等离子体发出的光，其中的波长和能量在等离子表面上起着重要作用。 原子团对物体表面产生的反应。因为等离子表面处理器中所含的氧自由基比离子更多，所以氧自由基在等离子表面处理器中起着重要作用，氧自由基的作用主要是化学变化环节中的能量传送。游离基团在激发
