另一类温度较低的弱电离等离子体，驱动力大于附着力又被称为低温等离子体，包括从照明到半导体工艺等各种工业应用等离子体。低温等离子体可通过气体放电来产生，放电电源的频率可以从直流（Direct Current, DC）到微波波段（GHz）。放电气压可以在小于1Pa到数倍大气压（105Pa）之间。表 等离
