2、基本原理：低温等离子体在等离子体设备中的产生机理有很多种，青海等离子涂层设备包括但不限于直流辉光放电、射频感应放电、电容耦合射频放电等，其中，电容耦合水平电极板的射频放电又以处理面积大而被广泛应用于许多科研和工业处理中。对电容耦合高频等离子体源来说，保持在平行电极之间的等离子体主要是通过高频电场
