等离子体粒子敲除数据表面的原子或附着在数据表面的原子,增强薄膜附着力方法是什么意思有利于清洗蚀刻响应。随着数据和技术的发展,埋地盲孔结构的完成将更加小型化、精细化;在盲孔填充电镀时,使用传统的化学方法去除胶渣会越来越困难,而等离子处理的清洗方法可以很好的克服湿法去除胶渣的缺陷,可以对盲孔和微孔达到更