由于等离子处理设备的去污表面不发生化学反应，附着力改进剂也没有其他氧化性物质残留，可以保持净化后产品的化学纯度，腐蚀效果各向异性。各种物质的选择性低。且腐蚀率低。化学等离子净化法具有净化率高、选择性高、能去除有机（有机）物质的优点，但缺点是表面会附着氧化性物质。与物理反应相比，化学反应的弱点难以克服
