杂质过多会导致真空泵转子卡死、刮伤或损坏各级旋叶、密封油路、或使排气阀板破裂……损坏导致真空处理设备甚至真空泵主要部件的排气能力。四。排气阀座检查：该检查主要是检查排气阀座是否损坏。排气阀作为真空泵的止回阀，附着力与粗糙度如果单向阀的功能被破坏，就会失效，降低真空等离子处理系统的排气能力。五。各级旋
