其主要进程包含：首先将需求清洗的工件送入真空室固定，附着力2n cm的胶带发动真空泵等设备开端抽真空排气到10Pa左右的真空度；接着向真空室引进等离子清洗用的气体（根据清洗材质的不同，选用的气体也不同，如氧气、氢气、氩气、氮气等），并将压力保持在 Pa左右；在真空室内的电极与接地设备之间施加高频电压
