它是由正离子轰击阴极产生的二次电子发射维持的。电源可以是直流的，阴极电泳漆附着力的标准也可以是交流的。虽然可以产生典型的大体积强激发低温等离子体，但其工作压力过低，在工业应用中难以连续生产，应用成本高。目前应用范围主要用于半导体行业的清洗。射频等离子体清洗射频放电通常在低压下工作，也可以在常压下甚至
