正是这种低温等离子体的非热力学平衡现象将等离子体处理技术的多样性带到了从聚合物材料的表面活化到半导体离子注入的一系列应用中。等离子处理技术用于许多制造行业,低温等离子体清洗设备处理尤其是汽车、航空航天和生物医学零件的表面处理方面。等离子技术通过减少有毒液体的使用来展示环境效益。同时,等离子技术与