待处理工件真空室内形成的等离子体被完全覆盖，镭雕附着力开始清洗操作，一般清洗过程可持续几十秒到几十分钟。清洗完毕后，关闭电源，用真空泵将污物吸入、蒸发、排出。等离子蚀刻机的另一个功能是在清洁后将表面完全干燥。物体表面经过化学蚀刻后，会形成许多新的活性基团，“活化”物体表面并改变其性能，显着提高物体表
