图一 微波等离子清洗机结构示意图真空系统结构微波等离子清洗机真空系统主要包括等离子工作腔、磁流体密封、真空连接管道（包含气动角阀）、真空测量计及真空泵等。激发的微波等离子体在工作腔内形成特定的等离子分布，8牛顿胶带测镀银层附着力对放置在工作腔内的被清洗工件进行清洗及表面处理，为此，工作腔内需要包含真
