清洁过程是将热化学或等离子体反应气体引入反应室，真空镀膜银在铜上的附着力与晶片表面发生化学反应，产生挥发性反应产物。它通过真空排出。 & EMSP; & EMSP; 等离子体基础知识： & EMSP; & EMSP; 等离子体是固体、液体和气体等物质的状态，也称为物质的第四态。当向气体施加足够的能量
