三、腔体材料的选择近年来比较常用的腔体材料有石英腔体、不锈钢腔体、铝合金腔体等，铝型材前处理工作石英腔体温度低，不易反应。铝型材的优点：铝型材密度低，强度高，优于钢，加工性能好。铝具有良好的导电性、导热性和耐腐蚀性。该材料具有良好的化学反应相容性，不易产生金属污染，无污染等。 四、真空泵的选择
