真空系统等离子体系统内的压力受几个因素的影响,其中最重要的一个原因是真空泵。在任何给定的真空系统,最大真空度会被真空泵的能力所限制。典型情况下压力在10～100Pa。供气系统在等离子体过程中为了保证最大的重复性,需要一些控制气体流量的装置,尤其是对反应气体。典型情况为:流量在0～200SCCM。某些
