...基于物理反应的等离子清洗，铜片等离子体刻蚀设备也称为溅射刻蚀（SPE）或离子铣削（IM），其优点是不发生化学反应，清洗表面无氧化物残留，清洗后的物体可以保留。此外，等离子清洗，其中物理和化学反应都在表面反应机制中发挥重要作用，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀。两种清洁相互促进，离子冲击清洁表面。
