纯乙烷在低温常压作用下等离子表面处理装置作用下可发生脱氢反应纯乙烷在低温常压作用下等离子表面处理装置作用下可发生脱氢反应可发生脱氢反应：在常压脉冲表面处理等离子仪电晕条件下，铁氟龙plasma刻蚀C2H6转化率和C2H2产率随着能量密度的增加而不断增加，C2H4产率适中，CH4产率随着等离子体能量密
