非反应性惰性气体等离子体携带重离子，原子灰附着力MPA导致表面形貌变化并可能改善机械耦合。表面基团也可以通过原子结构的机械破坏来产生。这这些表面基团以后可以参与表面反应和结合。真空等离子处理设备真空等离子处理是一种低温工艺，通常为40-120°C，可防止热损坏。这个过程可以产生非热表面活化反应，在大
