发射光线在金属表面清洗过程中的作用 等离子体产生的同时会发射出光线，金属镀层附着力检测它具有很高的能量且穿透力很强，金属表面污物分子在光线的作用下，分子键断裂而被分解，从而有利于推动黏附在金属表面上的污染物分子发生进一步的活(化)反应。在集成电路制造过程中，金属镀层附着力检测晶圆集成电路表面存在各种
