在HDI线板孔槽的清洗过程中，等离子体除胶机器等离子体一般分为三个阶段:使用高纯氮气产生等离子体,同时,印刷板预热,使聚合物材料在一定的激活状态;在第二阶段,O2和CF4作为原始气体生产O和F等离子体,与丙烯酸反应,π,FR4和玻璃纤维,以达到净化效果。第三阶段以O2为原始气体，以O和F为残余反应，
