DBD等离子体清洗机的第二电极结构是放电发生在两个介质层之间，金属表面附着力增强可以避免等离子体与金属电极的直接接触；同时，与单介质层放电结构相比，双介质层放电结构具有更均匀的等离子体和更细的放电丝。这种配置适用于电离腐蚀性气体和产生高纯度等离子体。第三种DBD等离子体清洗机的电极结构如图3所示，主
