正常排气时间约为几分钟。 2) 将 PLASMA 等离子清洗气体引入真空室，附着力等级对应时间以稳定室内压力。根据清洁剂的不同，可以使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳和其他气体。 3）当在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压时，气体分解，产生辉光放电，产生等离子体，真空室内产生的等离子体形成工
