(2)超薄单层材料叠层结构如下。刻蚀选择性和方向性（3）金属刻蚀常用的卤素气体非常容易腐蚀超薄金属材料层，金属刻蚀机使用说明书特别是隧道势垒多为金属氧化物，垂直磁隧道结部分厚度几乎小于3纳米。 , 极易腐蚀。影响固定层和自由层之间的电绝缘。 (4)大多数金属材料的磁性等工艺温度限制在200℃以上下降
