本文通过研究设计在线等离子清洗装置真空腔和物料输送中伤卡的有效预防，重庆常压等离子清洗机维修实现了在线等离子清洗设备的整线匹配，能满足IC封装生产工艺的大规模生产要求，大大提高了封装的可靠性。 在线式等离子清洗装置在技术推广集成电路制造过程中，40%的成本用于包装，因此集成电路包装已经成为全球独立
